美打中要害 中國半導體製程落後對手2至3代

美國對中國進行出口管制,已使中國半導體業者提升先進製程的速度放緩,落後對手2到3個世代。

美國對中國進行出口管制,已使中國半導體業者提升先進製程的速度放緩,並影響中國達成半導體自給自足目標的時程。7家接受日經新聞調查的中國主要半導體設備製造商坦言,他們的主力產品只能用來生產14或28奈米晶片,落後對手2到3個世代。

這些中國廠商表示,美國對中國進行出口管制,已阻礙他們從國外採購零組件和材料,並說用中國國內生產的零組件和材料取代外國進口,已導致他們的產品良率偏低。

上海微電子裝備公司(SMEE)1名工程師表示:「我們主力的微影機是90奈米,我們的28奈米和14奈米微影機就良率而言還有改善空間。」SMEE是中國唯一1家實現微影機商用化的半導體設備製造商。

儘管微影機的製造難度極高,全球最大製造商荷蘭艾斯摩爾(ASML)預料將開發出商用3奈米和2奈米微影機。

這次調查是在今年3月「2021年中國國際半導體展」時進行,日經共訪問逾20家中國半導體設備製造商,僅7家有所回應。這些受訪廠商坦承,在開發先進半導體製程設備上已經受到延誤。

在蝕刻技術具有優勢的中微半導體設備公司(AMEC)1名研究員表示:「我們能供應5奈米製程的機器,但現在只供應14奈米和28奈米製程。」另1蝕刻機製造商北京屹唐半導體科技公司,主要生產40奈米機台和部分28奈米機台。

在7家受訪的廠商中,僅AMEC已成功開發5奈米技術,其他廠商表示,僅生產14奈米或更老舊的產品。

美國對中國進行出口管制,是導致中國半導體業者提升先進製程的速度放緩主因。SMEE上述工程師表示:「當我們無法取得1種核心零組件,我們的產品開發就會受到嚴重衝擊。」

半導體零組件、材料和製造設備短缺,也影響中國晶圓代工廠的業績。根據中國最大晶圓代工廠中芯國際公布的2020年第4季財報,14奈米和28奈米僅佔其營收的5%,遠低於第3季的14.6%。自由時報0509

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